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CST クリーンサアフェイス技術株式会社

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handling tool


handling tool for small size
社内で使用していた治具を見て、お客様が外販を希望されたのが始まりです。
その後丸基板用、ディスク用、大きなサイズ用等が加わりました。

handling tool for square plate
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handling tool for disk plate
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handling tool for the horizontal
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■ CST-6025SH
平取り専用、マスク・レチクルケースから検査機・露光装置への脱着等に最適です。
ペリクル付き状態でも、干渉しません。 グリッパーが作業時にマスク上を横切らないサイドホールドタイプ
総重量:126g
コンパクト設計で作業負荷低減


■ 操作手順
1グリッパーは基板中心付近を保持
2固定リングをロック
3ハンドリング
4移動個所に移動
3固定リングロック解除
4ハンドリング治具を取り外す


【グリッパー部詳細画像】
 

handling tool for large plate
CSTのハンドリング治具が28年、基板を扱う人には必需品となりました。研磨、洗浄、検査装置への脱着など
あらゆる場面でご使用頂けます。
重い大型基板を端面だけの保持でケースからの出し入れから装置へのセットまで出来ます。
UJ0からUJ8までのハンドリング治具によって大型基板を自由自在に扱えます。


■ UJ0
ケースから垂直に取り出すための治具です。 600から1400mmまでの基板を対象にしています。

型式例
UJ0-920-10(Q800×920×10.0用)
UJ0-1200-10(Q850×1200×10.0用)
UJ0


■ UJ1
軽量な基板のケースからの出し入れ、基板検査のハンドリング等の多目的に使える治具です。中央部をハンドリングすれば平面取りや装置へのセッティングが可能です。

型式例
UJ1-3×4-6(330~400mm可変 5t,6t兼用)
UJ1-5×6-6(510~610mm可変 5t,6t兼用)
UJ1


■ UJ2
UJ1を肩幅で連結した治具です。縦取り、横取りと確実にホールドでき、
装置へのセッティングに最適です。

型式例
UJ2-3×4-6(330~400mm可変 5t,6t兼用)
UJ2-5×6-6(510~610mm可変 5t,6t兼用)
UJ2


■ UJ3
大サイズや重い基板用です。平面に置かれた基板をリフトアップして
ハンドリングすることもできます。

型式例
UJ3-800-10(Q800×920×10.0用)
UJ3


■ UJ6
UJ3で押さえていない2辺を1ヶ所で押さえることでより安定した
基板のホールドができます。

型式例
UJ6-850×1200-10(Q850×1200×10.0用)
UJ6


■ UJ8
4辺を2箇所ずつホールドした治具です。大型基板で板厚が比較的薄く自重で撓むようなPDP大型マスクブランクスや第8世代などの大型石英基板に最適です。

型式例
UJ8-1220×1400-13(Q1220×1400×13用)
UJ8-1300×2100-5(B1300×2100×4.8用)
UJ8







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